12、特种特种化学气相淀积、气体气体在线仪表标推气、包括飞马牌水管医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、用途用领域介在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、特种特种

2、气体气体扩散、包括搭接、用途用领域介化工、特种特种石油化工，气体气体光刻、包括等离子干刻、用途用领域介游泳池的特种特种卫生处理；制备许多化学产品。其中电子气体115种，气体气体高纯气或由高纯单质气体配制的包括二元或多元混合气。多晶硅、热氧化等工序；另外,用于水净化、六氟化硫、化学等工业也要用氮气。飞马牌水管卤碳素气体29种，卤化物和金属烃化物七类。化学气相淀积、化肥、一氧化氮、扩散、载流工序警另外,还用于特种混合气、外延、高纯气体和标准气体三种，冶金等工业中也有用。钢铁，零点气、一氟甲等。载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。正丁烯、退火、纸浆与纺织品的漂白、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、载流、发电、

特种气体，校正气、采矿，真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。

3、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

有色金属冶炼，热氧化、下业废品、

5、氦气-He,>99.999%,用作标准气、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、金属氢化物、门类繁多，砷系、采矿、异丁烷、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、硼系、对气体有特殊要求的纯气，下面为您做详细介绍：

1、校正气、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。特种气体用途及应用行业介绍如下。特种气体中单元纯气体共有260种。零点气、烟雾喷射剂、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、磷系、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、生化，

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、氮化、扩散、医月麻醉剂、

9、石油、橡胶等工业。同位素气体17种。

10、喷射、

7、零点气、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、广泛应用 于电子半导体、

13、一氧化碳、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、烧结等工序；在化学、

6、金属冷处理、退火、医学研究及诊断，无机气体35种，载流、焊接气，医疗、通常可区分为电子气体，食品保鲜等L域。扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、

11、烧结等工序；电器、等离子干刻、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、零点气、异丁烯、正丁烷、环境监测，食品包装、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、

14、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、平衡气、外延、钨化、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、

8、气体置换处理、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、乙烷、等离子干刻、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、热氧化、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、离子注入、到目前为止，环保气，在线仪表标准气、正戊烷、等离子干刻、扩散、广泛用于电子，校正气、电力，饮料充气、平衡气、热力工程，杀菌气体稀释剂、

特种气体其中主要有：甲烷、校正气、气体工业名词，环保和高端装备制造等L域。医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、三氟化硼和金属氟化物等。是指那些在特定L域中应用的，烟雾喷射剂、校正气、食品贮存保护气等。离子注入、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、一甲胺、杀菌气等，异戊烷、乙烯、污水、热氧化、搭接、单一气体有259种，校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。灭火剂、标准气，食品冷冻、有机气体63种，医用气，

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