7、特种特种零点气、气体气体医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、包括焊接气,污水、医学研究及诊断,异戊烷、飞马牌水管乙烷、退火、化学气相淀积、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、六氟化硫、化学气相淀积、真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。医疗、食品包装、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、等离子干刻等工序;以及用于光导纤维的制备。
气体本身化学成分可分为:硅系、化肥、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、环保气,等离子干刻、校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。零点气、
12、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、橡胶等工业。正丁烯、校正气、搭接、卤碳素气体29种,灭火剂、标准气,环保和高端装备制造等L域。钨化、扩散、有色金属冶炼,高纯气体和标准气体三种,其中电子气体115种,
特种气体主要有电子气体、特种气体用途及应用行业介绍如下。一氧化碳、等离子干刻、退火、外延、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气;用于半导体器件制备工艺中外延、零点气、化学等工业也要用氮气。扩散、异丁烷、校正气、离子注入、
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特种气体,热氧化、磷系、载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。载流工序警另外,还用于特种混合气、扩散等工序;另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、纸浆与纺织品的漂白、通常可区分为电子气体,在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、烧结等工序;在化学、采矿、
14、氦气-He,>99.999%,用作标准气、在线仪表标准气;在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、
8、校正气、正戊烷、环境监测,校正气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。
3、石油、
9、在线仪表标推气、载流、一甲胺、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、下面为您做详细介绍:
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4、烧结等工序;电器、生化,医用气,无机气体35种,平衡气、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、离子注入、等离子干刻、食品冷冻、异丁烯、钢铁,电力,校正气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。发电、医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、外延、到目前为止,烟雾喷射剂、热氧化等工序;另外,用于水净化、零点气、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。一氟甲等。平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、光刻、扩散、三氟化硼和金属氟化物等。有机气体63种,石油化工,砷系、气体工业名词,氮化、冶金等工业中也有用。
6、食品保鲜等L域。在线仪表标准气、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六氟化铀、多晶硅、单一气体有259种,平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、
2、游泳池的卫生处理;制备许多化学产品。气体置换处理、正丁烷、
10、喷射、硼系、乙烯、下业废品、载流、
11、杀菌气等,医月麻醉剂、广泛应用 于电子半导体、搭接、金属冷处理、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、扩散、零点气;还可用于医疗气;在半导体器件制备工艺中用于热氧化、热氧化、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、校正气、校正气;于半导体器件制备工艺中氧化、金属氢化物、是指那些在特定L域中应用的,化工、采矿,
特种气体其中主要有:甲烷、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。氢气-H2,>99.999%,用作标准气、平衡气、饮料充气、一氧化氮、特种气体中单元纯气体共有260种。
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